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高精度XY平台

设备信息 FEATURES

设备参数 PARAMETER

技术指标 数据
负载（Kg） X轴：Y轴自重+20 Y轴：20
最大速度（mm/s） X轴：1000 Y轴：1000
最大加速度（G） X轴：1 Y轴：1
有效行程（mm） X轴：350 Y轴：350
重复精度（μm） X轴：±1 Y轴：±1
定位精度（μm） X轴：±2 Y轴：±2
平面度（μm） X轴：±2.5 Y轴：±2.5
直线度（μm） X轴：±2.5 Y轴：±2.5
驱动方式 X轴：直线电机 Y轴：直线电机
反馈方式 X轴：光栅尺 Y轴：光栅尺
防尘方式 X轴：风琴式防护罩+上盖板 Y轴：风琴式防护罩+上盖板

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